filmetrics
1、然而，光学元件在刻误差控制中的应用相对较少，扫描电镜则在后期的精度测量中大显身手。薄膜厚度测量手段各异，从四探针法到涡流法，甚至椭圆偏振法，非光学产品如Filmetrics R50与光学测量设备如科磊Aleris和SpectraFilm相互补充。
2、并用折射率来表征致密性。研究了ＳｉＯ薄膜致密性与射频（ＲＦ）功率、基板温度、腔内压强、Ｎ０／ｓｉＨ流量比的关系。通过Ｆｉｌｍｅｔｒｉｃｓ薄膜测厚仪Ｆ２０测量了薄膜的折射率，用聚焦离子束扫描电镜（ＦＩＢ＿ｓＥＭ）测量了表面微结构。
评论留言